Sondertemperaturfeuchtigkeitskammer für die Herstellung von Halbleitern und Komponenten

In der hochkomplexen und wettbewerbsintensiven Halbleiter- und Komponentenfertigungsindustrie ist die Zuverlässigkeit und Leistung der Produkte von größter Bedeutung. Die kundenspezifische Temperatur- und Feuchtigkeitsklimakammer ist eine hochmoderne Lösung, die entwickelt wurde, um die einzigartigen und anspruchsvollen Anforderungen dieses Sektors zu erfüllen und eine kontrollierte Umgebung für umfassende Tests und Optimierung zu bieten.

• Ultrapräzise und stabile Konstruktion
  Die Kammer ist mit einem hochfesten, ausgasungsarmen Legierungsrahmen konstruiert, der außergewöhnliche Steifigkeit und Stabilität bietet. Der Innenraum ist mit einem chemisch inerten und elektrostatisch ableitenden Material ausgekleidet, um eine Kontamination oder Beschädigung der empfindlichen Halbleiterproben zu verhindern. Die Tür ist mit einem Dreifachdichtungsmechanismus ausgestattet, der hochpräzise Dichtungen und Luftschleusen beinhaltet und eine ultra-dichte und stabile Testumgebung gewährleistet. Ein kleines, optisch klares Sichtfenster aus entspiegeltem und antistatischem Glas ermöglicht eine detaillierte Sichtprüfung, ohne die internen Bedingungen zu beeinträchtigen. Die Kammer verfügt außerdem über ein Schwingungsisolationssystem, um externe Vibrationen zu minimieren, die die Testergebnisse beeinträchtigen könnten, da selbst kleinste Vibrationen erhebliche Auswirkungen auf die Leistung von Halbleitern haben können.
• Präzisions-Temperatur- und Feuchtigkeitskontrollsysteme

  Temperaturkontrolle:Kann einen extrem engen Temperaturbereich von -80 °C bis +200 °C mit einer erstaunlichen Genauigkeit von ±0,1 °C aufrechterhalten. Es verwendet eine Kombination aus kryogener Kühlung, Widerstandsheizung und fortschrittlichen Wärmemanagementtechnologien. Das Steuerungssystem beinhaltet eine hochempfindliche Rückkopplungsschleife mit mehreren Platin-Widerstandstemperaturdetektoren (RTDs), die strategisch innerhalb der Kammer platziert sind, um eine gleichmäßige Temperaturverteilung und minimale Temperaturgradienten zu gewährleisten.

  Feuchtigkeitskontrolle:Das Feuchtigkeitskontrollsystem ist ebenso präzise und in der Lage, Feuchtigkeitswerte von 0 % bis 100 % rF (relative Luftfeuchtigkeit) mit einer Genauigkeit von ±1 % rF zu erreichen. Es verwendet eine Kombination aus Dampfinjektion, Trockenmittelentfeuchtung und Taupunktspiegelhygrometrie zur genauen Messung und Steuerung. Die Kammer ist mit einem Laminarströmungssystem ausgestattet, das eine gleichmäßige Feuchtigkeitsverteilung und schnelle Feuchtigkeitsanpassungen gewährleistet.

• Erweiterte Instrumentierung und Datenerfassung
  Die Kammer ist mit einer umfassenden Reihe von Sensoren und Instrumenten ausgestattet. Zusätzlich zu Temperatur- und Feuchtigkeitssensoren enthält sie Sensoren zur Messung elektrischer Parameter wie Leckstrom, Kapazität und Widerstand der getesteten Halbleiter und Komponenten. Diese Sensoren sind mit einem hochmodernen Datenerfassungssystem verbunden, das alle relevanten Daten aufzeichnet und speichert.
• Erweiterte Sicherheits- und Konformitätsmerkmale
  Die Kammer ist mit mehreren Sicherheitsebenen ausgestattet. Sie beinhaltet ein automatisches Notabschaltsystem, das im Falle einer kritischen Fehlfunktion sofort aktiviert wird. Die Kammer ist mit einem Feuerlöschsystem, einem Belüftungssystem zur Entfernung schädlicher Gase und Sicherheitsverriegelungen am Bedienfeld ausgestattet. Darüber hinaus entspricht die Kammer allen relevanten Standards und Vorschriften der Halbleiterindustrie.

• Kammergröße und -kapazität:Erhältlich in Größen von kleinen Tischmodellen bis zu großen Standgeräten mit einem Volumen von bis zu mehreren Kubikmetern.
• Temperaturwechselrate:4 bis 8 Zyklen pro Stunde, mit Rampenraten von 1 °C bis 10 °C pro Minute einstellbar.
• Feuchtigkeitswechselrate:Kann die Feuchtigkeitswerte innerhalb von 5 bis 15 Minuten anpassen.
• Datenerfassungsrate:3000 Messwerte pro Sekunde für eine präzise Überwachung.
• Konformität:Vollständig konform mit JEDEC-Standards und IEC 60068 für Umweltprüfungen.

• Genaue Simulation von Betriebsbedingungen für Halbleiter und Komponenten
  Die Kammer bietet eine hochpräzise Simulation von Temperatur- und Feuchtigkeitsbedingungen, denen Halbleiter und Komponenten während ihrer Betriebsdauer ausgesetzt sind. Dies ermöglicht die Bewertung der Produktleistung und des Abbaus im Laufe der Zeit und hilft Herstellern, Designs zu optimieren und die Zuverlässigkeit zu verbessern.
• Verbesserte Qualität und Innovation von Halbleiter- und Komponentenprodukten
  Umfassende Tests in der Kammer ermöglichen die Identifizierung und Behebung potenzieller Designprobleme, was zu zuverlässigeren Produkten führt. Sie dient auch als wertvolles Werkzeug für Forschung und Entwicklung neuer Materialien und Technologien.
• Einhaltung von Standards und Vorschriften der Halbleiter- und Komponentenindustrie
  Die Kammer stellt sicher, dass Tests in Übereinstimmung mit strengen Branchenanforderungen durchgeführt werden, was die Zertifizierung und Marktakzeptanz von Halbleiterprodukten erleichtert.